半导体真空阀门用途半导体真空阀门用途是什么丹阳

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1、本发明的目的在于提供一种密封效果好的半导体真空阀门真空测试的装置。进一步的技术方案，前密封板与真空阀门之间设置有与前气孔的形状相匹配的密封圈，前密封板上对应密封圈位置设有密封槽。进一步的技术方案，后密封板与真空阀门之间设置有与后气孔的形状相匹配的密封圈，后密封板上对应密封圈位置设有密封槽。进一步的技术方案，前真空连接转换管与前密封板之间设有与前测试孔形状相匹配的密封圈。

2、进一步的技术方案，后真空连接转换管与后密封板之间设有与后测试孔形状相匹配的密封圈。本发明的有益效果：。本发明结构简单，直接安装于真空阀门上用于对真空阀门的真空测试，本发明有效的缩短了测试时间，提高测试效率，降低测试成本。图1为本发明结构示意图，。

半导体真空阀门用途相关拓展

半导体真空阀门用途有哪些

图2为本发明安装图，。其中，1、真空阀门，11、后壁，12、后气孔，2、前密封板，21、前测试孔，3、后密封板，31、后测试孔，4、前真空连接转换管，5、后真空连接转换管，6、装配孔，7、密封圈，8、密封槽。下面通过非限制性实施例，进一步阐述本发明，理解本发明。为了加强本发明与真空阀门1之间的密封性，前密封板2与真空阀门1之间设置有与前气孔的形状相匹配的密封圈7，前密封板2上对应密封圈7位置设有密封槽8。

后密封板3与真空阀门1之间设置有与后气孔12的形状相匹配的密封圈7，后密封板3上对应密封圈7位置设有密封槽8。前真空连接转换管4与前密封板2之间设有与前测试孔21形状相匹配的密封圈7，后真空连接转换管5与后密封板3之间设有与后测试孔31形状相匹配的密封圈7。

半导体真空阀门用途是什么

图2为本发明安装图，。其中，1、真空阀门，11、后壁，12、后气孔，2、前密封板，21、前测试孔，3、后密封板，31、后测试孔，4、前真空连接转换管，5、后真空连接转换管，6、装配孔，7、密封圈，8、密封槽。下面通过非限制性实施例，进一步阐述本发明，理解本发明。为了加强本发明与真空阀门1之间的密封性，前密封板2与真空阀门1之间设置有与前气孔的形状相匹配的密封圈7，前密封板2上对应密封圈7位置设有密封槽8。

后密封板3与真空阀门1之间设置有与后气孔12的形状相匹配的密封圈7，后密封板3上对应密封圈7位置设有密封槽8。前真空连接转换管4与前密封板2之间设有与前测试孔21形状相匹配的密封圈7，后真空连接转换管5与后密封板3之间设有与后测试孔31形状相匹配的密封圈7。

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